特点/Features: 

• ● 可连接OHT和AGV
• ● 占地面积小
• ● 高洁净度
• ● 可选配高速晶圆Aligner和高分辨率OCR
• ● 完整的数据记录
• ● 可选配Kawasaki Robot
• ● 客制化服务

尺寸/Dimensions: